一种低成本低温合成碳化硅粉料的方法

陈秀芳徐现刚胡小波 · 2015

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专利权人：

山东大学

申请人：

山东大学

通讯地址：

250199山东省济南市历城区山大南路27号

专利类型：

发明专利

专利号：

CN104828825A

公开日期：

2015.08.12

摘要：

本发明一种低成本低温合成碳化硅粉料的方法.采用高纯碳纤维和高纯硅粉为原料,在加高坩埚中,温度500-1000℃、真空度小于10^-3Pa条件下,向生长室中充入氩气或者氩气和氢气的混合气体,压力为800-900mbar,升温至1000-1300℃进行合成.本发明采用一次合成法,克服了二次合成工序复杂、耗时长、人为引入杂质等缺点.本发明可一次性合成5-10kg粒度可控的大粒度碳化硅粉料.成本低,工艺简单.