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点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法
唐锋 王向朝 冯鹏 · 2017
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阅读量：344
衍射波
干涉仪
偏振态
干涉条纹
光强
点光源
分光器
数据处理单元
光电探测器
干涉相位
专利权人：
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人：
中国科学院上海光学精密机械研究所
通讯地址：
中国科学院上海光学精密机械研究所
专利类型：
发明专利
专利号：
CN107036789A
摘要：
一种点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法,干涉仪的构成包括：光源、第一分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、点光源发生单元、理想波前发生单元、待测光学系统、精密调节台、小孔光窗器件、第二分光器、二维光电探测器和数据处理单元。本发明具有测量空间分辨率高、干涉条纹密度可调、能够利用相移、空间载波相移等多种干涉相位提取算法、能够标定干涉仪系统误差和干涉对比度可调等优点。
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