摘要:
本发明公开一种双闪耀光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法,属于激光精密测量技术领域。该装置包括:激光源,用于提供激光束和参考信号,其中所述激光束包含频率不同且线偏振方向正交的第一偏振分量和第二偏振分量,所述参考信号的频率对应于所述第一偏振分量和所述第二偏振分量的频率差;双闪耀光栅单元,其包括第一闪耀光栅和第二闪耀光栅,其中所述第一闪耀光栅和所述第二闪耀光栅能够随待测对象一起运动;干涉单元,用于将所述激光束分为第一偏振光和所述第二偏振光,其设置于所述双闪耀光栅单元的一侧与所述激光源之间;以及回射单元,其设置于所述双闪耀光栅单元的另一侧。本发明能够提高滚转角测量过程中的衍射光的衍射效率。