摘要：
本发明公开一种组合式反射镜光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法，属于激光精密测量技术领域。该装置包括：激光源，用于提供激光束和参考信号，其中激光束包含频率不同且线偏振方向正交的第一偏振分量和第二偏振分量，参考信号的频率对应于第一偏振分量和第二偏振分量的频率差；光栅单元，其包括第一光栅和第二光栅，其中第一光栅和第二光栅能够随待测对象一起运动；干涉单元，用于将激光束分为第一偏振光和所述第二偏振光，其设置于光栅单元的一侧与激光源之间；以及第一组合式反射镜，其设置于第一光栅的衍射光轴上；第二组合式反射镜，其设置于第二光栅的衍射光轴上。本发明能够降低滚转角测量装置的制作成本及难度。
会员登录
