三阶分布反馈太赫兹量子级联激光器的远场分布特性

朱永浩黎华万文坚周涛曹俊诚 · 2017

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太赫兹

量子级联激光器

单模

远场

期刊名称：

物理学报 2017 年 09 期

摘要：

研究了三阶分布反馈太赫兹量子级联激光器的设计、制作并分析了其纵模和横模特性.通过建立波导结构模型,利用有限元方法模拟激光器波导结构内的三维模场分布,通过本征模的损耗分析器件的纵模模式选择机理.同时,由本征模的近场通过近-远场傅里叶变换求得激光器的远场分布.采用半导体工艺制作了4.3 THz双面金属波导三阶分布反馈量子级联激光器,测量了不同器件的发射谱和远场光束质量,远场发散角为12?×13?,实验结果和理论模拟符合.