太赫兹波段金属阵列结构的透射及反射宽谱偏振特性

沈云汪涛汪云邓晓华曹俊诚谭智勇邹林儿代国红 · 2018

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集成光学

期刊名称：

光学学报 2018 年 05 期

摘要：

基于计算机仿真技术(CST)软件对二维金属光栅阵列在0.1~10THz波段的偏振特性进行了数值分析,利用光刻和金属薄膜工艺在500μm厚的高阻硅衬底上沉积了20nm厚的不同结构周期的金属铜光栅阵列,利用傅里叶变换光谱仪测量了该光栅阵列的透射及反射特性。结果表明:在太赫兹宽谱范围内,该光栅阵列的透射和反射都具有良好的偏振特性,且偏振特性范围可通过调整结构周期进行调节;该研究对太赫兹偏振器的进一步研究及应用提供了参考。