摘要：
本发明公开了一种光学传感式三维高精度接触扫描测量探头,其特征是测头单元是在圆环座的中央设置十字悬浮片,十字悬浮片的各悬臂端固定连接对应位置上的“V”型悬臂簧片的顶端,“V”型悬臂簧片的两个底端固定连接在圆环座上,形成十字悬浮片在圆环座中的悬浮结构；在十字悬浮片的上表面、处在十字悬浮片的中央固定设置楔形块,在楔形块的顶面粘结有NPBS,在楔形块的底面镀有反射层,在十字悬浮片的下表面、处在十字悬浮片的中央固定连接带有测球的探针；测量单元是以激光器发射准直光投射至NPBS,利用四象限探测器检测获得Z轴、Y轴和X轴向的位移量。本发明能获得较高的测量精度,其灵敏度高、测力小,装调方便。
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