单传感器式三维微纳米接触触发测量探头

本发明公开了一种单传感器式三维微纳米接触触发测量探头,其特征是在基座中分别设置测头单元和测量单元,其测头单元将簧片支承在圆环座上,在簧片上设置圆形悬浮片,在圆形悬浮片上固定设置分光棱镜和楔形块,测杆与圆形悬浮片呈“T”形固定连接；测量单元是将激光器射出的准直光投射经分光棱镜和楔形块聚焦在四象限探测器上,利用四象限探测器测量探针的偏摆,从而实现单传感器式三维微纳米接触触发式测量。本发明能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果,其稳定性高、成本低且装调方便。