一种太赫兹近场成像系统及方法
专利权人:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
通讯地址:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
专利类型:
发明专利
专利号:
CN106442394A
摘要:
本发明提供一种太赫兹近场成像系统及方法,所述太赫兹近场成像系统包括太赫兹相干光源模块、外腔光路模块及近场探针模块。本发明采用高功率太赫兹量子级联激光器产生高功率THz辐射,利用探针技术和激光器自混频效应探测目标的近场太赫兹信号,进而实现高分辨率成像功能。由于采用自混频效应代替近场探测器,光路系统简洁紧凑;近场探针反射的近场太赫兹信号与入射信号共光路,精度高且结构简单,显著改善了传统近场成像技术的缺陷,对高精度太赫兹成像技术的发展及应用具有积极的推动作用。
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