一种抗粘附RF MEMS开关

赵嘉昊李沐华尤政 · 2017

阅读量：222

驱动电极

共面波导

专利权人：

清华大学

申请人：

清华大学

通讯地址：

清华大学

专利类型：

发明专利

专利号：

CN106602183A

摘要：

本发明公开了一种抗粘附RF#MEMS开关,包括共面波导、锚区、扭转梁、第一驱动电极、第二驱动电极、第一抗粘附电极、第二抗粘附电极,所述锚区、扭转梁、第一驱动电极、第二驱动电极、第一抗粘附电极和第二抗粘附电极均设置在所述共面波导上,所述第一驱动电极和所述第一抗粘附电极均与所述扭转梁连接,所述第一驱动电极、所述扭转梁和所述第一抗粘附电极组成跷跷板结构。本发明具有如下优点：驱动电极之间抗粘附,且结构简单成本低。

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