单行载流子光探测器结构及其制作方法

本发明提供一种单行载流子光探测器结构及其制作方法,利用分步腐蚀的方法,制作出收集层面积比吸收层面积小的光探测器结构,使得器件电容大大减小,在相同吸收层厚度条件下,提高了器件的RC响应带宽,进而提高了器件的总带宽；在相同收集层面积及相同吸收层厚度的条件下(RC带宽、渡越带宽相同),器件具有更大的吸收层面积,因而具有更大的响应度,可以在更高入射光功率下工作,在高速高功率应用中性能提升更为明显,适用于太赫兹信号产生、高速光通信中的光接收等领域。