一种电化学自供电加速度传感器及其制造方法
专利权人:
清华大学
申请人:
清华大学
通讯地址:
清华大学
专利类型:
发明专利
专利号:
CN106953002A
摘要:
本发明公开了属于加速度传感器领域的一种电化学加速度传感器及其制造方法。该电化学加速度传感器采用叠层式结构,依次叠放集流体#正电极#隔膜#负电极#集流体;采用机械结构装卡和刚性树脂胶灌封将器件封装在金属或塑料外壳中。该电化学加速度传感器通过电化学体系的离子重分布效应实现加速度冲击信号的传感。本发明的集流体采用钛等金属材料,通过激光焊接完成极针与集流体的可靠连接。多孔电极的制备采用溶胶凝胶浸渍结合烧结工艺,在基体表面形成丰富的沟壑孔洞结构。本发明解决了高g加速度信号的自供电传感问题,在汽车工业、航空航天和武器装备领域具有广阔的应用潜力。
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