摘要：
本申请公开了一种面形检测装置与检测方法，面形检测装置包括激光光源组件、波前编码器、分光器件、透镜、阵列探测器以及控制模块。面形检测方法：将激光光源组件发出的光照射波前编码器，经波前编码器调制的出射光透过分光器件、透镜成像至待测区一表面，该表面反射的光经过透镜、分光器件进入阵列探测器；控制模块控制波前编码器以在待测区一表面上产生顺序移动的光斑；阵列探测器记录并保存对应每个采样点的光斑的图像，将接收到的光线转换为电信号；控制模块对电信号进行相应的处理并获得待测物体表面的倾斜角度。本发明实现高精度小范围和低精度大范围两种模式之间的切换；可测量二维物体，适合在线检测安装在同步辐射光束线上的光学元件。
会员登录
